臭氧的發現及認識過程，是人類應用臭氧的開始，臭氧應用使臭氧制取技術得以快速發展，人工產生臭氧的方法按原理分為光化學、電化學、原子輻射和電暈放電等幾種。原子輻射法用得極少，工業應用臭氧源大多采用氣體電暈放電型的臭氧發生器。目前用于實際的臭氧合成技術有如下幾種：

光化學法——紫外線臭氧發生器

此方法是光波中的紫外光會使氧氣分子O₂分解并聚合成臭氧O₃，大氣上空的臭氧層即是由此產生的。

波長λ＝185nm（10^-9m）的紫外光效率最高，此時，光量子被O₂吸收率最大。其反應基本過程為：

O₂+ hr→O + O

O₂+ O + M→O₃+M

hr——紫外光量子；

M——存在的任何惰性物體，如反應器器壁、氮、二氧化碳氣體分子等。

使用185nm紫外光產生臭氧的光效率為130gO₃/kw·h，是比較高的。但目前低壓汞紫外燈的電－光轉換效率很低，只為0.6%～1.5%，則紫外法產生臭氧的電耗高達600kwh/kgO₃，即1.5gO₃/kw·h，工業應用價值不大。

紫外法產生臭氧的優點是對濕度、溫度不敏感，具有很好的重復性。同時，可以通過燈功率線性控制臭氧濃度、產量。這兩個特性對于臭氧用于人體治療與作為儀器的臭氧標準源是非常合適的。