沿面放電型發生器原理屬于電暈放電，其放電區發生在高壓電極邊緣表面，由高壓閃絡形成。沿面放電區空氣電暈能量集中，功率密度較高，需要良好的冷卻。

此型發生器有充惰性氣體氖（Ne）或（Ar）的玻璃放電管和陶瓷片兩種，其結構簡圖如下：

充氣玻璃放電管發生器國外稱作臭氧燈，八十年代初外國遠洋食品冷藏船艙殺菌防霉就使用這種臭氧發生器。我國邯鄲、大連等船舶工業相關單位首先研制了這種產品，做成5g/h的發生器用于雞蛋、果蔬冷庫消毒與保鮮。由于結構簡單、工藝要求低，我國很快發展了這種用于醫療行業和消毒柜的微型管式發生器，數量很大，價格便宜。但經多年實踐檢驗，該種發生器大多數壽命極短，一般連續工作幾百小時后產生的臭氧量即所剩無幾了。

臭氧陶瓷片資料見于七十年代日本專利文獻，八十年代鞍山靜電技術研究院與日方合作引進生產技術，北方交通大學與重慶師范學院同期也合作研制過同類陶瓷片臭氧產品。九十年代，一批公司推出幾種規格臭氧陶瓷片，并有以“等離子體發生器”冠名。陶瓷片結構簡單，工藝標準化后價格也會比較低廉，其壽命比充氣玻璃管要長。鞍山靜電研究院與成都正邦公司的產品采用地極被封閉，陶瓷、高壓極防氧化涂膜工藝，對提高質量、延長壽命大有好處。

沿面放電器件作為醫療、家電產品微型發生器的臭氧源具有很大優勢，其電耗在40kw·h/kgO₃上下，由于產量在克級以下，電耗高點影響不大。作為工業應用產品困難很多，電耗將更高。

沿面放電器件產生臭氧濃度低，作水凈化應用的臭氧源較為困難。