1、臭氧：常溫常壓下是一種淡藍色腥臭味的氣體，分子式為O₃，具有極強的氧化能力與殺菌性能。

2、臭氧產量：即臭氧的產率，以小時為單位臭氧的發生量。計量單位：mg/h、g/h、kg/h。濃度×流量≈產量

3、臭氧濃度：單位體積內臭氧的含量。計量單位：mg/L，mg/m ³，ppm

4、水溶臭氧濃度：臭氧溶于水中，單位體積的臭氧含量。計量單位：mg/L、ppm

5、空氣應用臭氧濃度：用于空氣消毒的臭氧濃度，一般在1-10 mg/m³。

6、環境臭氧濃度：環境空氣中所含有的臭氧濃度，環境質量標準規定的一二三級環境質量標準分別為0.12/0.16/0.2 mg/m³。

7、電耗：不包含空氣處理系統的情況下，臭氧發生器主機每產生1kg臭氧的耗電量。（該單位為評價臭氧發生器性能的指標，不同于設備的功率）。計量單位：kw·h/kgO₃

8、投加量：一定單位的液體或氣體所投加臭氧的量。計量單位：g/m³、g/T

9、單位放電面積的產量：放電介質單位面積內所產生的臭氧量，該指標為評價放電介質性能的指標。計量單位：g/m³

10、露點：為空氣干燥度的指標，空氣在多少溫度下開始出現結露現象。計量單位：℃。

11、進氣流量：每小時進入臭氧發生器放電室中原料氣體量。計量單位：m³/ h

12、出氣流量：從發生器放電室中每小時排出臭氧化混合氣體的流量。計量單位：m³/ h

13、進氣壓力：進入臭氧發生器放電室的原料氣體的壓力。計量單位：MPa

14、光化學產生臭氧法：利用紫外光使氧氣分子分解并聚合生成臭氧的方法。

15、電化學產生臭氧法：利用直流電源電解含氧電解質產生臭氧的方法。

16、電暈放電法：利用交變高壓電場使含氧氣體產生電暈放電，電暈中的高能自由電子離解氧分子并聚合生成臭氧分子的方法。

17、氣隙放電法：電暈放電的一種，其放電區發生在介質層與高壓電極或低壓電極之間的區域。

18、沿面放電法：電暈放電的一種，其放電區域發生在高壓電極邊緣。

19、DTA放電體：一搪瓷為主要電介質的臭氧放電體，具有產量高，濃度高的特點。

20、電極：與具有不同電導率的媒質形成導電交接面的導電部分，在臭氧發生單元中指分布高壓電場的導電體。

21、介質管（板）：基本電磁場性能是受電場作用而極化的物質所構成的零部件，在臭氧發生單元中系指位于兩極之間，造成穩定的輝光放電的絕緣體。

22、介質強度：介質材料能承受而不致遭到破壞的最高電場強度。

23、輝光放電：當電場強度超過某值時，以發光表現出來的氣體中電傳導現象。

24、臭氧發生單元：組成產生臭氧的最基本元件，如以電暈氣隙放電的臭氧發生單元為高壓電極、地電極、介質、氣隙。

25、管式臭氧發生單元：輝光放電元件以同心圓安置的臭氧發生單元。

26、板式臭氧發生單元：輝光放電元件以平行板安置的臭氧發生單元。