用通風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新鮮空氣稀釋含臭氧的尾氣往往是一項實用方法。不過，直接達(dá)到排放尾氣1.46×10^-9 mol/L臭氧安全目標(biāo)所需的稀釋比可能是很高的，例如在5000~10000之間。所以此法只有在剩余臭氧進一步利用，例如通過預(yù)臭氧化，確保適當(dāng)?shù)拇髿庀♂尡热?/span>8~10，配接排氣煙筒之后才是切實可行的。用機械通風(fēng)100~120的稀釋比足夠。吸氣點壓力降10mmH₂O，運行能耗等于8~10W·h/m³尾氣。

盡管運行成本極為有利，此項技術(shù)還是很少應(yīng)用。主要問題是巨型離心通風(fēng)機所產(chǎn)生的噪音超過60分貝的容許極限，同時，不同生產(chǎn)條件下氣體流量調(diào)節(jié)的可變性極小并可能干擾臭氧接觸的進行。稀釋法的實際設(shè)計應(yīng)用是采用裝在噪音吸收室內(nèi)的空氣噴射器從而抽出尾氣。采用這一技術(shù)，只需很少控制設(shè)備。

比利時諾托梅爾（Notmeir）水廠，在臭氧處理能力不大（最大6kgO₃/h）的情況下，臭氧化處理排出的尾氣可同內(nèi)燃機或水泵發(fā)動機的廢氣混合。在后一種情況下剩余臭氧同廢氣中的雜質(zhì)起反應(yīng)。從而，所需的稀釋比可降低到35（最大），乃至于在極端情況下降到10。