一、臭氧氧化階段

1、臭氧用量

臭氧與NOx的反應過程是多價態氮氧化物等并存的混合氣體。隨著臭氧用量的增加，NOx逐步由低價向高價態轉化，分別為一氧化氮、三氧化二氮、二氧化氮和四氧化二氮、五氧化二氮。因此氧化效果提高并不是呈線性增加。除此之外，臭氧的用量還受到臭氧分解、煙氣組分、吸收液成分等因素的影響，工程中要考慮多個因素對臭氧量進行修正。

 2、臭氧利用效率

臭氧氧化NOx效率的高低，取決于實際反應的量。根據流體力學原理及動態模擬試驗，煙氣不同形狀煙道中的流態分布有很大差別，能否實現煙氣和臭氧的充分混合接觸，成為影化效果的關鍵因素響氧。因此臭氧與煙氣混合需要采取臭氧噴射系統或者斡旋切割等方式促進臭氧與煙氣的混合。

 3、氧化反應時間

臭氧氧化NOx的時間大約需要0.05S，反應速度快，但反應前提是充分接觸，因此需要根據煙氣流速和煙道形狀、尺寸選取適合長度的煙道，保證足夠的氧化時間，要結合工程經驗對氧化區間進行確定計算。

二、噴淋吸收階段

1、吸收劑成分

目前應用比較成熟的是NaOH、氨水、Ca(OH)₂等堿溶液作吸收劑對NOx進行化學吸收，但是不同的吸收劑存在不同的效率，因此工程設計要考慮不同吸收劑對脫硝效果的影響。

2、噴淋吸收時間

NOx的價態決定了吸收效率。 NO不溶于水；二氧化氮反應時間較長，受PH值影響大；五氧化二氮 反應速度快。但生成五氧化二氮消耗臭氧量比氧化成二氧化氮要多。因此不同條件，綜合考慮臭氧量和吸收時間。

3、吸收液PH值

根據雙模理論，NOx在吸收反應是液相傳質的過程，且受液膜阻力影響，提高傳質效率成為吸收效果的關鍵。PH為堿性時，液相界面OH^-濃度增加有利于NOx的溶解，需兼顧經濟性，合理控制吸收液的PH環境。

4、噴淋水汽接觸面積

噴淋塔內，反應后的煙氣與水的接觸面積直接決定了能否快速溶于水，噴淋塔的設計也就成了關鍵。